Buồng đốt

Buồng đốt

Buồng đốt là lò môi trường được sử dụng để đánh giá độ tin cậy của nhiều thiết bị bán dẫn và thực hiện sàng lọc công suất lớn để phát hiện lỗi sớm (tử vong ở trẻ sơ sinh). Các buồng môi trường này được thiết kế để đốt tĩnh và động các mạch tích hợp (IC) và các thiết bị điện tử khác như điốt laser.

Chọn kích thước buồng

Kích thước buồng đốt phụ thuộc vào kích thước của tấm burn-in, số lượng sản phẩm trong mỗi tấm burn-in và số lượng lô hàng cần thiết mỗi ngày để đáp ứng yêu cầu sản xuất. Nếu không gian bên trong quá nhỏ, không đủ khoảng cách giữa các bộ phận dẫn đến hiệu suất kém. Nếu quá lớn, không gian, thời gian và năng lượng bị lãng phí.

Các công ty đang mua thiết bị đốt mới nên làm việc với nhà cung cấp để đảm bảo nguồn nhiệt có đủ công suất ổn định và tối đa để phù hợp với tải của DUT.

Khi sử dụng luồng khí tuần hoàn cưỡng bức, các bộ phận được hưởng lợi từ khoảng cách, nhưng lò có thể được nạp dày đặc hơn theo chiều dọc vì luồng khí được phân phối dọc theo toàn bộ thành bên. Các bộ phận nên được giữ cách thành lò 2-3 inch (5,1 – 7,6cm).

Thông số thiết kế buồng đốt

Phạm vi nhiệt độ

Tùy thuộc vào yêu cầu của Thiết bị được Kiểm tra (DUT), hãy chọn một buồng có dải động như 15°C trên nhiệt độ môi trường đến 300°C (572°F)

Độ chính xác nhiệt độ

Điều quan trọng là nhiệt độ không dao động. Độ đồng đều là sự chênh lệch tối đa giữa nhiệt độ cao nhất và thấp nhất trong một buồng ở một cài đặt được chỉ định. Thông số kỹ thuật về điểm đặt ít nhất 1% cho độ đồng đều và độ chính xác kiểm soát 1,0°C được chấp nhận trong hầu hết các ứng dụng đốt bán dẫn.

Nghị quyết

Độ phân giải nhiệt độ cao 0,1°C sẽ cung cấp khả năng kiểm soát tốt nhất để đáp ứng các yêu cầu về quá trình đốt cháy

Tiết kiệm môi trường

Hãy xem xét một buồng đốt có chất làm lạnh có hệ số suy giảm tầng ôzôn bằng 0. Buồng đốt có chức năng làm lạnh liên quan đến các buồng hoạt động ở nhiệt độ dưới 0 độ C xuống đến – 55°C.

Cấu hình buồng

Buồng có thể được thiết kế với các giá để thẻ, khe cắm thẻ và cửa ra vào để đơn giản hóa việc kết nối bảng DUT và bảng điều khiển với các trạm ATE.

Lưu lượng không khí trong buồng

Trong hầu hết các trường hợp, lò đối lưu cưỡng bức với luồng khí tuần hoàn sẽ cung cấp sự phân phối nhiệt tốt nhất và tăng tốc đáng kể thời gian đạt nhiệt độ và truyền nhiệt đến các bộ phận. Tính đồng đều và hiệu suất nhiệt độ phụ thuộc vào thiết kế quạt hướng luồng khí đến tất cả các khu vực của buồng.

Buồng có thể được thiết kế với luồng khí ngang hoặc dọc. Điều quan trọng là phải biết hướng lắp DUT dựa trên luồng khí của buồng.

Dây điện ATE tùy chỉnh

Khi đo trên hàng trăm thiết bị, việc luồn dây qua lỗ hở hoặc lỗ thử có thể không thực tế. Các đầu nối dây tùy chỉnh có thể được gắn trực tiếp vào lò để tạo điều kiện theo dõi điện của thiết bị bằng ATE.

Lò đốt kiểm soát nhiệt độ như thế nào

Lò đốt sử dụng bộ điều khiển nhiệt độ thực hiện thuật toán PID (tỷ lệ, tích phân, đạo hàm) chuẩn. Bộ điều khiển cảm nhận giá trị nhiệt độ thực tế so với giá trị điểm đặt mong muốn và phát tín hiệu hiệu chỉnh đến bộ gia nhiệt yêu cầu ứng dụng ở bất kỳ phạm vi nào từ không có nhiệt đến nhiệt độ đầy đủ. Quạt cũng được sử dụng để cân bằng nhiệt độ trong buồng.

Cảm biến phổ biến nhất được sử dụng để kiểm soát nhiệt độ chính xác của lò môi trường là Cảm biến nhiệt độ điện trở (RTD), một thiết bị làm bằng bạch kim thường được gọi là PT100.

Kích thước buồng

Nếu bạn đang sử dụng lò nướng hiện có, mô hình nhiệt cơ bản dựa trên các yếu tố như công suất nhiệt và tổn thất của lò nướng, công suất nguồn nhiệt và khối lượng DUT sẽ cho phép bạn xác minh rằng lò nướng và nguồn nhiệt đủ để đạt được nhiệt độ mong muốn với hằng số thời gian nhiệt đủ ngắn để đáp ứng vòng lặp chặt chẽ theo hướng dẫn của bộ điều khiển.